隨著熱噴涂技術(shù)的發(fā)展，通過制備陶瓷涂層來提高等離子體蝕刻室的耐腐蝕性成為可能。討論氧化釔穩(wěn)定的氧化鋯（YSZ）陶瓷涂層及其主要制備技術(shù)。大氣等離子噴涂工藝，介紹了粉末特性以及不同噴涂工藝參數(shù)對涂層性能的影響，為實驗研究奠定了理論基礎(chǔ)。

產(chǎn)品功能

1.產(chǎn)品純度高，粒徑小，分布均勻，比表面積大，表面活性高，堆積密度低；

2.白色微黃色粉末，不溶于水和堿，溶于酸。

應(yīng)用領(lǐng)域  用于鋼鐵和有色合金的

1.添加劑；

2.引擎零件；

3.機械加工，例如鉆孔，切割和焊接；

4.電子顯微鏡熒光屏；

5.航空等低密度高熔點場合；

6.燃料電池，電解池和氣體傳感器；

7.耐高溫噴涂材料，核反應(yīng)堆燃料稀釋劑，永磁材料添加劑；

8.電子行業(yè)的Getter。

包裝和儲存

本產(chǎn)品默認裝在惰性氣體防靜電袋或真空袋中。收貨后，應(yīng)密封并保存在干燥陰涼的環(huán)境中。它不應(yīng)長時間暴露在空氣中，以防止由于水分而結(jié)塊，這會影響分散性能和使用效果。

說到等離子蝕刻，這是一種不可替代的過程，可以實現(xiàn)從光刻模板到硅晶片的VLSI生產(chǎn)中精細圖案的高保真轉(zhuǎn)印。氧化釔是關(guān)鍵的粉末材料之一。氧化釔的化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定，并且具有的抗等離子腐蝕性能。氧化釔涂層對蝕刻工藝腔具有良好的保護作用。此外，氧化釔涂層還可以充當(dāng)碳阻擋層，并用于制備用于熔煉高附加值合金的石墨坩堝。經(jīng)過工藝優(yōu)化和反復(fù)試驗，熱噴涂氧化釔和氧化釔穩(wěn)定的氧化鋯粉已通過驗收并投放市場，歡迎選購。